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Itrix公开30英寸的石墨烯薄膜

2021-06-09 ryder

日本纳米压印设备厂商Itrix在正在举行的展会“第22届FinetekJapan”上,公开了尺寸为700mm×400mm(相当于30英寸)的石墨烯薄膜。该公司代表董事社长长谷川正治表示,“此

日本纳米压印设备厂商Itrix在正在举行的展会“第22届Finetek Japan”上,公开了尺寸为700mm×400mm(相当于30英寸)的石墨烯薄膜。该公司代表董事社长长谷川正治表示,“此次公开的是单层石墨烯薄膜。光透射率为97.5%”。

此次公开的石墨烯薄膜由韩国Graphene Square公司制造。Itrix还展出了由Graphene Square公司加工的、可在A4尺寸铜(Cu)箔上制造石墨烯薄膜的CVD设备。长谷川说道:“听说该设备在韩国已经卖出了100台”。


在PET基板上成膜的30英寸(700mm×400mm)石墨烯薄膜。左图薄膜中有石墨烯的部分(右半部分)与没有石墨烯的部分(左半部分)的放大照片。朦胧可以看出光的反射率不同。Graphene Square公司的A4尺寸石墨烯薄膜(铜箔上)制造设备。左图制造设备的内部。石墨烯薄膜的制造流程是,先将铜箔卷成卷放入这个透亮的石英管内,加热至约1000℃,然后再输入甲烷(CH4)气体。不同基板上的石墨烯。左侧是玻璃基板,右侧是PET基板。左侧是铜箔上的石墨烯,右侧是SiO2晶圆上的石墨烯。

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